620CNTs-PDC 用 PECVD 工艺由陶瓷靶材通过磁控溅射及离子源加强的方法在材料表面进行薄膜涂层，它具有常温 加工的特殊工艺，能在塑料、橡胶、其他高分子树脂等基材上进行加工。这种室温沉积制备的 300-700 纳米薄膜涂 层，超高硬度，厚度均匀、致密无针孔、不含助剂、不损伤工件、有优异的硬度和润滑性，可在需要运动的部件使用延长使用寿命