商铺名称：迈浦特机械四川有限公司
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商品详情
一、产品简介
迈浦特半导体芯片光刻高低温一体机，是迈浦特专为半导体芯片光刻全流程研发的精密温控设备，依托多年高精端温控技术积累，核心解决光刻过程中温度波动导致的光刻精度不足、芯片性能偏差等痛点，适配半导体光刻严苛工况，运行稳定、操作便捷，助力提升芯片光刻良率，适配半导体行业标准，是半导体芯片光刻环节的可靠温控解决方案。
二、产品描述
迈浦特半导体芯片光刻高低温一体机，基于制冷循环与热交换原理，搭载迈浦特PLC控温系统及高精度PID温控算法，控温精度可达±0.1℃（可定制更高精度），温度调节范围覆盖-45℃至300℃，适配光刻各环节温控需求；采用全密闭循环设计，搭配知名元器件，实时监测温度、流量、压力等参数，具备10重安全保护功能，支持USB数据导出、远程控制及100组可编工艺程序一键调用；结构紧凑、占地小，运行噪音低、无粉尘析出，适配Class 1000级无尘车间，可24小时连续稳定运行，维护便捷，无需频繁人工干预，部分机型支持与光刻设备、MES系统联动。
三、应用场景
迈浦特半导体芯片光刻高低温一体机，全程适配半导体芯片光刻全流程，核心应用于：光刻胶涂覆前预处理、恒温曝光、显影烘烤、光刻胶固化等关键工艺环节，可精准控制光刻设备反应腔、晶圆台等关键部位温度，适配消费电子芯片、5G通信芯片、MEMS芯片等光刻场景，广泛应用于半导体芯片制造企业、晶圆代工厂、半导体研发机构、光刻设备配套厂商，满足SEMI等相关行业标准及光刻工艺对温度稳定性的严苛要求。
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